光學微電子凈化工程

凈化方案一：
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點：
A.建議新風經過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

凈化方案二：
水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
方案特點：
這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

凈化方案三：
分體空調柜機+FFU送風口
這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點：
A、無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 
B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。 
C、新風量大
D、送風量大

電子無塵凈化車間潔凈等級說明

等級	等級說明及車間應用
1級	這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業，對集成電路的精確要求為亞微米
10級	這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業
100級	很多人認為，這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間，人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求，100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等，這一潔凈室大量應用于，植如體內物品的制造，外科手術，包括移植手術，集成器的制造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術后的隔離治療
1000級	這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產，還用于測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等
10000級	萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用
100000級	十萬級無塵車間用于很多的工業部門，比如光學產品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生產，醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間

潔凈室（區）空氣潔凈級別表

潔凈度級別	塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數	≥5μm塵粒數	微生物最大允許數浮游菌/立方米	沉降菌/皿
100級	3,500	0	5	1
10,000級	350，000	2，000	100	3
100，000級	3，500，000	20，000	500	10
300，000級	10，500，000	60，000	1000	15

光學微電子凈化工程換氣參數

換氣次數：	100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次	壓差：	主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：	10級、100級0.3－0.5m/s	溫度：	冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃ 溫度45－65％ GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜 電子車間濕度略高以免產生靜電
噪聲：	≤65dB（A）
新風補充量：	新風補充量是總送風量的10％－30％
照度：	300LX